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日本ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列 測雨儀 愛發科
產品型號：UTM-MS
產品品牌：日本愛發科ulvac
產品簡介：
這是使用磁力軸承的帶獨立控制器的渦輪分子泵。我們擁有排氣速度為 300 至 4000 L/s 的多種型號。控制器單元可監控運行狀態并支持各種通信標準。
特征
泵體與控制器分離，
控制器可監控運行狀態，支持多種通訊標準。
自由安裝方向
自由安裝方向使系統設計更加靈活。
抽速300L/s～4000L/s級產品陣容
泵旋轉角度可在 25% 至 100% 之間調節，
通過改變旋轉速度可以調節腔內的壓力。
高耐久性、安全性
通過了空氣沖入試驗、接地試驗等安全確認試驗。
日本ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列 測雨儀 愛發科
日本ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列 測雨儀 愛發科
應用
主要設備真空抽氣系統
- 半導體設備
- 蒸發器，濺射系統
- 分析設備，實驗裝置等。用于不產生副反應產物的輕工藝過程的主真空抽氣系統。
一般用于高真空抽氣系統。
規格
表格1
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出水口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | ||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 抽氣速度*2 | 氮氣 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 應收賬 | 升/秒 | ー | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氫氣 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮率 | 氮氣 | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8× 104 | |||||||||
| 氫氣 | 1× 104 | 4×10 3 | ||||||||
| 入口壓力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 出口壓力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 旋轉速度 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動時間 | 5分鐘或更短 | |||||||||
| 安裝位置 | 朝任意方向 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー |
| 壓力 | 壓力 | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | |
| 噪音 | 分貝(聲級) | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 三十二 | ||||||
| 推薦前級泵 | 200L/略多 | 500L/略多 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 分離型 | ||||||||
| 輸入電功率 | 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度變化 | 轉速在額定轉速的25%~之間可調（設定為0.1%） | |||||||||
| 溝通 | 接觸 | |||||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示位數。
*2：無防護網。
*3：入口壓力和出口壓力不能同時滿足。
表 2
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 進氣口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 出水口 | KF40 | ||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | |||||
| 抽氣速度*2 | 氮氣 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 應收賬 | 升/秒 | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| 氫氣 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮率 | 氮氣 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| 他 | 1× 104 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3× 104 | |||
| 氫氣 | 1× 103 | 3×10 3 | 6×10 3 | 2× 103 | |||
| 入口壓力*3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 出口壓力*3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 旋轉速度 | 轉速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動時間 | 7分鐘或更短 | 11分鐘或更短 | 12分鐘或更短 | 18分鐘或更短 | |||
| 安裝位置 | 朝任意方向 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1～3 | 2～4 | |||
| 壓力 | 壓力 | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分貝(聲級) | 60 | 57 | 60 | |||
| 重量 | 公斤 | 三十九 | 四十二 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦前級泵 | 600L/略多 | 1300L/略多 | 1500L/略多 | ||||
| 控制器 | 作品 | 分離型 | |||||
| 輸入電功率 | 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
| 速度變化 | 轉速在額定轉速的25%~之間可調（設定為0.1%） | ||||||
| 溝通 | 接觸 | ||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | |||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | |||||
*1：表示位數。
*2：無防護網。
*3：入口壓力和出口壓力不能同時滿足。
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