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日本ulvac進(jìn)口低溫泵愛發(fā)科CRYO-U16P
產(chǎn)品型號：CRYO-U16P
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介： CRYO-U系列是使用2級GM制冷機(jī)的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。 特征適用于中、大型設(shè)備。CRYO-U16 的高負(fù)載版本。

日本ulvac進(jìn)口低溫泵愛發(fā)科CRYO-U16P

抽速(20℃)氮升/秒5,000
氫10,000
氬氣4,200
水16,000
極限壓力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氬氣帕?升/秒(托?升/秒)1.6×10 3（12）
氫4.5×102 （ 3.4）
泵送能力氬氣帕?升(托?升)4.3×10 8 (3.3×10 6 )
氫2.4×106 （ 1.8× 104）
冷卻時(shí)間
（電源循環(huán)）		小值(Hz)120/110(50/60)
安裝法蘭UVG-400
壓縮機(jī)組C30VRT
重量公斤61.0


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