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日本進(jìn)口ulvac愛(ài)發(fā)科UR600多級(jí)羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號(hào)：UR600
產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 均勻高溫分布泵HR 系列泵設(shè)計(jì)用于保持均勻高溫，適用于需要加熱泵、加熱氣管線(xiàn)和/或加熱排氣管線(xiàn)的應(yīng)用UR 系列泵能夠保持比 HR 系列更高的溫度。卓越的氦氣泵送能力，封閉式電機(jī)，安全且易于維護(hù)。電源故障保護(hù)泵可承受長(zhǎng)達(dá) 1000 毫秒的電源中斷。卓越的耐腐蝕性?xún)?nèi)部組件經(jīng)過(guò)特殊處理，具有高表面硬度和耐腐蝕性。這可防止泵內(nèi)部零件在暴露于腐蝕性氣體時(shí)發(fā)生磨損和腐蝕。通訊功能可以導(dǎo)出包括警告和警報(bào)在內(nèi)的泵數(shù)據(jù)。可進(jìn)行廣泛的泵控制。

日本進(jìn)口ulvac愛(ài)發(fā)科UR600多級(jí)羅茨干式真空泵

高溫分布均勻。可將CVD、蝕刻工序產(chǎn)生的升華物以氣態(tài)排出。

特征

  • 均勻高溫分布泵
    HR 系列泵設(shè)計(jì)用于保持均勻高溫，適用于需要加熱泵、加熱氣管線(xiàn)和/或加熱排氣管線(xiàn)的應(yīng)用
    UR 系列泵能夠保持比 HR 系列更高的溫度。

  • 的氦氣泵送能力，
    封閉式電機(jī)，安全且易于維護(hù)。

  • 電源故障保護(hù)
    泵可承受長(zhǎng)達(dá) 1000 毫秒的電源中斷。

  • 的耐腐蝕性
    內(nèi)部組件經(jīng)過(guò)特殊處理，具有高表面硬度和耐腐蝕性。這可防止泵內(nèi)部零件在暴露于腐蝕性氣體時(shí)發(fā)生磨損和腐蝕。

  • 通訊功能
    可以導(dǎo)出包括警告和警報(bào)在內(nèi)的泵數(shù)據(jù)。可進(jìn)行廣泛的泵控制。

應(yīng)用

  • CVD 設(shè)備

  • 蝕刻設(shè)備

  • 灰化設(shè)備

  • ALD、ALH等

規(guī)格

模型UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
泵決策支持系統(tǒng)

UR421-T

UR90UR90UR180UR421-T
骨髓移植-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T

抽
速		50赫茲410 立方米/小時(shí)
（6833 升/分鐘）		653 立方米/小時(shí)
（10883 升/分鐘）		1012 立方米/小時(shí)
(16867 升/分鐘)		1701 立方米/小時(shí)
（28350 升/分鐘）		2700 立方米/小時(shí)
（45000 升/分鐘）
極限壓力

5.0帕

入口壓力大氣壓*1
排氣壓力1.0至大氣壓Pa
入口直徑（CE型）VG100

VG80(NW80)

VG100(NW100)

VG150(NW100)

VG150

出口直徑VG50

NW40

NW50

重量415公斤370公斤403公斤553公斤720 公斤
力量三相
180～240VAC/
380～440VAC
（50/60赫茲）		200 VAC（50/60 赫茲）/220 VAC（60 赫茲）180～240VAC/
380～440VAC
（50/60赫茲）
當(dāng)前的在極限壓力下23 A（200V 時(shí)）16.4A（200V 時(shí)）18.9 A（200 V 時(shí)）29.2 安培（200 伏時(shí)）
20.5 安培（400 伏時(shí)）		39.8 A（200V 時(shí)）
20.5 A（400V 時(shí)）

負(fù)載時(shí)		52.5A（200V 時(shí)）17.3 A（200V 時(shí)）22.4 A（200 V 時(shí)）34.9 安培（200 伏時(shí)）
40.5 安培（400 伏時(shí)）		68.3 安培（200 伏時(shí)）
40.5 安培（400 伏時(shí)）
冷卻水
供給壓力		0.2~0.5兆帕0.1~0.3兆帕0.2~0.5兆帕
冷卻水進(jìn)/
出壓差		>0.2兆帕>0.1兆帕>0.1兆帕>0.1兆帕>0.2兆帕
冷卻水流量>5.0 升/分鐘
氮?dú)?/span>供給
壓力		0.1~0.5兆帕

壓力調(diào)節(jié)		0.05~0.1MPa
N2 吹掃軸吹掃5 級(jí)
氣鎮(zhèn)流器0~195 秒0~45秒0~195 秒0~195 秒

*1：UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT 均應(yīng)在 200Pa (1.5 Torr) 以下運(yùn)行。
* 如果您需要此規(guī)格列表中未列出的 UR 系列，請(qǐng)與我們聯(lián)系。


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