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日本進口新宇宙XP-703DIII 半導(dǎo)體材料氣體檢測
產(chǎn)品型號：XP-703DIII
產(chǎn)品品牌：日本COSMOS
產(chǎn)品簡介： 檢測對象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3 檢測濃度 1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm 檢測原理 熱線型半導(dǎo)體式 采樣方式 自動吸引式 應(yīng)用行業(yè) 半導(dǎo)體制造

日本進口新宇宙XP-703DIII 半導(dǎo)體材料氣體檢測

測對象氣體 


半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） 


檢測原理 


熱線型半導(dǎo)體式 


采樣方式 


自動吸引式 


檢測氣體名稱


砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣 


AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2 


可檢測小濃度


（單位：ppm）


0.2     0.3     0.1        0.5        1.0


檢測表示 


蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍


應(yīng)答速度 


10秒以內(nèi) 


尺寸


W38×H130×D30mm


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